北京：建设回收系统实现循环利用用水大户变身节水高手

原标题：用水大户变身节水高手

位于北京经济技术开发区的中芯国际集成电路制造有限公司，不但是芯片巨头，也是节水“高手”。这家用水大户凭借自建的工业废水回收系统，自建成以来已累计节水2400余万吨。按照昆明湖200万立方米容积计算,中芯国际节水量相当于12个昆明湖。

在中芯国际废水回收车间内，伴随着隆隆的机器声，回收的工业废水经过活性炭塔、保安过滤器、反渗透膜三道过滤，源源不断地汇入巨大的储水罐。

“虽然是工业废水，但如果白白排掉也是巨大浪费。”中芯国际厂务水科经理廉串海介绍，水是生命之源，对于中芯国际这样的芯片生产企业来说，水同样是重要的“生命线”。

在芯片生产过程中，对晶圆进行刻蚀是其中的重要步骤。刻蚀后的晶圆需要用超纯水进行清洗，而超纯水的制备，则需要使用大量自来水。仅此一项，该企业一天就要用掉近1万吨水。廉串海介绍，超纯水是比蒸馏水还要“纯净”的水，从自来水到超纯水，当中也有一部分损耗。

为了减少对自来水的消耗，中芯国际将目光投向了再生水源。在厂区的部分供水管线上，可以看到上面印有“小红门中水”的字样。廉串海介绍，在一些对水要求不高的工艺中，该企业已经用上了来自小红门、博大等再生水厂的再生水。

而真正的“大头”，则是来自厂区自己的回收水。自2002年建厂以来，中芯国际自筹资金，先后建设了三套废水回收系统，将水循环利用起来。“清洗产生的废水，会集中收集到水箱进行水质检测，随后进入回收系统，经过层层过滤去除污染物，检测合格的水会再次供应到超纯水设备。这样一来，就能减少使用自来水，而我们自己排下来的水，又可以进入生产循环，相当于多了一个水源。”

廉串海说，在这个过程中，处理系统主要监测的指标是TOC（总有机物）和电导率。过滤之后，水的电阻率要达到18兆欧以上，才能达到超纯水的要求。而剩下不达标的水也不会被浪费，在冷却塔等设备中，这些水也能物尽其用。“包括我们在超纯水制造中产生的废水，我们也会想办法利用起来，不让它直接排走。”随着该企业产能的扩大，厂区的废水回收系统也在不断扩建，节水能力不断提升。

作为同行业中最早用上再生水的企业，建厂至今18年来，中芯国际已累计节水2400余万吨。放眼整个北京经济技术开发区，万元GDP水耗连续多年保持在4立方米以内，为北京市平均水平的三分之一，用水效率达到国际先进水平。