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北京:建设回收系统实现循环利用用水大户变身节水高手

时间:2021-06-01 09:26人气:来源: 人民日报

原标题:用水大户变身节水高手

位于北京经济技术开发区的中芯国际集成电路制造有限公司,不但是芯片巨头,也是节水“高手”。这家用水大户凭借自建的工业废水回收系统,自建成以来已累计节水2400余万吨。按照昆明湖200万立方米容积计算,中芯国际节水量相当于12个昆明湖。

在中芯国际废水回收车间内,伴随着隆隆的机器声,回收的工业废水经过活性炭塔、保安过滤器、反渗透膜三道过滤,源源不断地汇入巨大的储水罐。

“虽然是工业废水,但如果白白排掉也是巨大浪费。”中芯国际厂务水科经理廉串海介绍,水是生命之源,对于中芯国际这样的芯片生产企业来说,水同样是重要的“生命线”。

在芯片生产过程中,对晶圆进行刻蚀是其中的重要步骤。刻蚀后的晶圆需要用超纯水进行清洗,而超纯水的制备,则需要使用大量自来水。仅此一项,该企业一天就要用掉近1万吨水。廉串海介绍,超纯水是比蒸馏水还要“纯净”的水,从自来水到超纯水,当中也有一部分损耗。

为了减少对自来水的消耗,中芯国际将目光投向了再生水源。在厂区的部分供水管线上,可以看到上面印有“小红门中水”的字样。廉串海介绍,在一些对水要求不高的工艺中,该企业已经用上了来自小红门、博大等再生水厂的再生水。

而真正的“大头”,则是来自厂区自己的回收水。自2002年建厂以来,中芯国际自筹资金,先后建设了三套废水回收系统,将水循环利用起来。“清洗产生的废水,会集中收集到水箱进行水质检测,随后进入回收系统,经过层层过滤去除污染物,检测合格的水会再次供应到超纯水设备。这样一来,就能减少使用自来水,而我们自己排下来的水,又可以进入生产循环,相当于多了一个水源。”

廉串海说,在这个过程中,处理系统主要监测的指标是TOC(总有机物)和电导率。过滤之后,水的电阻率要达到18兆欧以上,才能达到超纯水的要求。而剩下不达标的水也不会被浪费,在冷却塔等设备中,这些水也能物尽其用。“包括我们在超纯水制造中产生的废水,我们也会想办法利用起来,不让它直接排走。”随着该企业产能的扩大,厂区的废水回收系统也在不断扩建,节水能力不断提升。

作为同行业中最早用上再生水的企业,建厂至今18年来,中芯国际已累计节水2400余万吨。放眼整个北京经济技术开发区,万元GDP水耗连续多年保持在4立方米以内,为北京市平均水平的三分之一,用水效率达到国际先进水平。

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